今天为大家带来探针卡的要点内容,希望能给大家带来帮助。
1.探针卡(probecard)是晶圆测试(wafertest)中测调试和待测芯片(chip)间的插口,主要是在芯片分块封装形式时对芯片电力学特性进行初步的检测,并且对欠佳芯片作出挑选然后再进行以后的封装形式工程项目。
2.集成电路芯片(integratedcircuit,简称:IC)采用的是半导体材料加工工艺,在一块比较小的单晶硅片上制做很多晶体三极管及电阻、电力电容器等电子器件,并依据双层走线方式将电子器件组成完整的电子线路。
3.探针卡按结构特征分成:刀头针卡,悬臂针卡,竖直针卡,膜式针卡和MEMS针卡。
4.探针卡主要是由PCB、探针及基础件等构成,针对不同的状况,也会有电子元器件、补强板(Stiffener)等要求。悬臂针卡也包含针环(Ring)、环氧树脂(Epoxy)等。
5.悬臂针卡比较常见的针材料:钨Tungsten(W),铼钨RheniumTungsten(RW,3%R97%W),锡青铜Beryllium-copper(BeCu),Paliney7(P)。
6.PCB是承重针、环、基础件的载体,以实现针头与试验机的信号传导,其外观设计、规格等受接口标准牵制,材料受接口测试牵制,对应的外观设计一般是正方形和环形。
7.MEMS:为提升throughput及发展更微小间隔(finepitch)、更高一些针数(highpincounts)之探针卡技术性,微机电制造(Micro-Electrical-MechanicalSystems;MEMS)技术性发生,提升环氧树脂探针卡(Epoxyringprobecard)以人力一根根拼装探针之生产制造方法及小型弹簧式探针卡(Micro-springprobecard)逐根焊接技术性限定,生产效率高,提升制作经费与pincounts数相匹配的限定,有益于高腿数探针卡之制做,其适用于高针数(~30kpins/卡)、高电流量以及高探针缩小行程安排之测试需求。可以保持稳定性及非常低检测划痕。换句话说,在非常的窄间隔的晶圆测试上,也仅仅造成很小刮损印痕,从而有效的提升耐用性并减少换针工作频率。
8.环氧树脂悬臂式探针卡针数可以达到千余针,针叠加层数可以达到16层;pitch悬臂针30um竖直针40-50um
9.悬臂式探针卡使用期限:100wTD
10.探针卡存放标准:真空包装袋在出厂,闲置不用探针卡储放氮气柜,环境湿度:25%±2